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信越化学将在台湾设新工厂生产光刻胶

阅读次数:次  发布人:  添加时间:2015-5-28

      日本信越化学工业公司于2015年4月9日宣布,为了扩大光刻胶相关业务,将在台湾新设工厂。该公司已向台湾相关部门提出了施工许可申请,将在获得许可后立即动工。工期约为1年,预计投资金额为130亿日元左右。

      1991年,信越化学以开创新业务为目的,成立了由董事长金川千寻(当时是社长)担任委员长的“Z委员会”。作为课题之一,该委员会一直致力于光刻胶的研发。据介绍,当时的曝光工序主要采用g线和i线等高压汞灯光谱线作为光源,不过在新一代微细化工艺中,KrF准分子激光作为新型光源备受期待。

      较晚加入光刻胶行业的信越化学,一开始就投身于难度较高的KrF准分子激光用光刻胶的开发。该公司利用长年积累的合成技术,成功地开发出了客户要求的高灵敏度产品,并从1997年开始在日本新潟县的直江津工厂生产。

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