信越化学将在台湾设新工厂生产光刻胶

      日本信越化学工业公司于2015年4月9日宣布，为了扩大光刻胶相关业务，将在台湾新设工厂。该公司已向台湾相关部门提出了施工许可申请，将在获得许可后立即动工。工期约为1年，预计投资金额为130亿日元左右。

      1991年，信越化学以开创新业务为目的，成立了由董事长金川千寻（当时是社长）担任委员长的“Z委员会”。作为课题之一，该委员会一直致力于光刻胶的研发。据介绍，当时的曝光工序主要采用g线和i线等高压汞灯光谱线作为光源，不过在新一代微细化工艺中，KrF准分子激光作为新型光源备受期待。

      较晚加入光刻胶行业的信越化学，一开始就投身于难度较高的KrF准分子激光用光刻胶的开发。该公司利用长年积累的合成技术，成功地开发出了客户要求的高灵敏度产品，并从1997年开始在日本新潟县的直江津工厂生产。

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